浅谈ITO靶材的优点及其应用

  ITO(铟锡氧化物)的应用:

  ITO 透明导电薄膜凭借优异的光学以及电学性能在光电子领域得到了广泛的应用,特别是在高速发展的FPD行业,除了LCD外还有高清晰度电视(HDTV)、等离子管显示器(PDP)、触摸屏(Touch Panel)、电致发光(EL)等。此外,ITO薄膜玻璃作为面发热体,用在汽车、火车、飞机挡风玻璃,飞船眩窗,坦克激光测距仪、机载光学侦察仪,潜望镜观察窗等,不仅起隔热降温作用,而且通电后可以除冰霜,因此也得到了广泛的应用。如果用作建筑物幕墙、夏天可隔热,冬天可防寒。利用ITO薄膜对微波的衰减性,可以用于电磁屏蔽的透明窗等。ITO薄膜还可以用于太阳能电池、防护等领域。

  采用磁控溅射法所获得的ITO透明导电薄膜在光学、导电性能、均匀性以及稳定性等方面具有很强的优势,所以现阶段LCD所用的ITO透明导电薄膜几乎都是用这种ITO靶材磁控溅射镀膜的方法制备的。所需的溅射靶材有两种,即In-Sn 合金靶和ITO陶瓷靶。前者制靶容易制膜难,因为工艺参数对ITO 膜性能太敏感,尤其是氧含量难以控制;而后者制靶难制膜容易,工艺参数与膜性能依赖性不强,因为靶本身就是铟锡氧化物,氧含量控制较容易。

  ITO(铟锡氧化物)的优点:

  ITO制备成透明导电薄膜后,它不但继承了电学性能方面的优势,而且在光学以及某些机械性能方面表现也很出色:

  (1)导电性能好,电阻率可达10-4Ω·cm;

  (2)可见光透过率高,可达 85%以上;

  (3)对紫外光具有吸收性,吸收率≥85%;

  (4)对红外光具有高反射性,反射率≥80%;

  (5)对微波具有高衰减率,衰减率≥85%;

  (6)膜层硬度高、耐磨、耐普通条件下的化学腐蚀;

  (7)膜加工性能好,便于刻蚀等。

考虑到规模生产,一般都采用ITO陶瓷靶。要制备出这样高性能且可规模化生产的ITO膜,就要求采用均匀性好且密度高的ITO靶。

2018深圳国际全触与显示展将于2018年11月22日-24日在深圳会展中心举办,期待您的莅临!

  来源:互联网

 


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